硅烷是一種無色、和空氣反應會引起窒息的氣體。這種氣體通常和空氣接觸會引起燃燒并且放出很濃的白色的無定型二氧化硅煙霧。二氧化硅煙霧對健康的首要危害是其自燃的火焰會引起嚴重的熱灼傷，嚴重的甚至會致命。如果火焰或者高溫作用在硅烷鋼瓶的某一部分會使鋼瓶在安全閥啟動以前爆炸。如果泄放硅烷時壓力過高或者速度過快會導致滯后性的爆炸。泄漏的硅烷如果沒有自燃會很危險，不要靠近。處理緊急情況的人員必須要裝備個人防護設備與適應當時情況的防火保護。不要試圖在切斷氣源前進行滅火。
硅烷的物理性質
1. 性狀：無色氣體，有大蒜惡心氣味。
2. 密度（g/L,25°C）：1.44
3. 相對蒸汽密度（g/mL,空氣=1）：1.1
4. 熔點（oC）：-185
5. 沸點（oC,常壓）：-111.9
6. 沸點（oC,760mmHg）：-112
7. 蒸發熱（KJ/mol）：12.5
8. 熔化熱（KJ/mol）：0.67
9. 生成熱（KJ/mol）：32.6
10. 比熱容（KJ/(kg·K),25oC）：1.335
11. 臨界溫度（oC）：-3.5
12. 臨界壓力（MPa）：4.864
13. 溶解性：溶于水，幾乎不溶于乙醇、乙醚、苯、氯仿、硅氯仿和四氯化硅。
硅烷的化學性質
毒性資料
LD50：－ LC50：9600ppm/4小時
毒性效應：
其他注意事項：研究發現，當老鼠暴露在10000ppm下1小時或 ≥2500ppm下4小時會 對腎產生影響。老鼠暴露在1000ppm，6小時/天，5天/周下2到4周后只有輕微的呼吸道刺激。硅烷會引起細菌的變異。
致癌性：至今未被發現致癌。
生態資料
可能之環境影響/環境流布：
水中毒性：
流動性：由于在空氣中自燃，它會在進入土壤之前燃燒掉。
持續性及生物降解：由于在空氣中燃燒并分解，硅烷不會在環境中長期存在。
潛在的生物富集：硅烷不會在生物中積累。
注：硅烷不含有任何1類或2類的分解臭氧的化學物質。
硅烷的注意事項
危害辨識
最重要危害與效應：
眼接觸：硅烷會刺激眼睛。硅烷分解產生無定型二氧化硅。眼睛接觸無定型二氧化硅顆粒會引起刺激。
吸入：
1.吸入高濃度的硅烷會引起頭痛、惡心、頭暈并刺激上呼吸道。
2.硅烷會刺激呼吸系統及粘膜。過度吸入硅烷會引起肺炎和腎病，這是由于存在結晶二氧化硅的原因。
3.暴露于高濃度氣體中還會由于自燃而造成熱灼傷。
攝入：攝入不可能成為接觸硅烷的途徑。
皮膚接觸：硅烷會刺激皮膚。硅烷分解產生無定型二氧化硅 。皮膚接觸無定型二氧化硅顆粒會引起刺激。
慢性：
侵入途徑：
癥狀：如今不清楚長期暴露于硅烷中對健康的進一步影響。
損害器官：未建立
過度暴露造成的病情惡化 ：有皮膚和呼吸道疾病的人暴露在硅烷及其分解物中會加重病情。
致癌性：未被 NTP、OSHA及IARC列為致癌物。
